点击图片查看原图
Brooks Instrument 的蒸汽输送模块 (VDM) 是用于高精度输送超高纯度去离子水蒸汽的高性能、自足式模块。它的特点是节能设计，能在低温环境下产生超高纯蒸汽。该模块采用了成熟的蒸汽输送技术，并结合了 进的数字控制和集成诊断功能，集成在 个小巧，方便的外壳中。
VDM 专为 进的剥离和金属刻蚀后段钝化工艺设计。相比闪蒸系统，它能提高精度，使流速更快，控制范围更广，功耗更小。基于成熟的热式质量流量测量技术，VDM 能在非过热蒸汽阶段产生蒸气，从而降低去离子水的侵蚀效果，提高了可靠性，改良了清洁操作。
它还通过 个独立的服务端口和直观的图形用户界面，提供人性化的数据记录和诊断功能。